?? ??????????19?
????:1??????????:?????98
2???????200??
3??????
4???????????
5????????
??????????????????6?????????????????????????????????5?? (? ???)5??????????,?????????????????,?????5????????????????????,??19??????
???????????,??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
?2020???????????6????????????????,???14??????????????,??????????
????5?????????????????????????????????????????MEMS??????????????
????,?????????????????????????,??????????????,????????????????????????????,?????
??????????????????,«??????(2024)»??????,??????????????????????????????????10??
????,????????????,????????????(1.2????)????35?????????????????????,??????????????????????????????????????(????????????????????) ??:??